深硅刻蝕工藝在高深寬比結構中的技術突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優化Bosch工藝參數，實現了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結構加工。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化，確保側壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。該技術應用于地質勘探模擬芯片時，可精確復制地下巖層的微孔結構，用于油氣滲流特性研究；在生化試劑反應腔中，高深寬比流道增加了反應物接觸面積，使酶促反應速率提升40%。公司還開發了雙面刻蝕與通孔對齊技術，實現三維立體流道網絡加工，為微反應器、微換熱器等復雜器件提供了關鍵制造能力，推動MEMS技術在能源、環境等領域的跨學科應用。10-100μm 幾十微米級微流控芯片可實現多樣化結構設計與精密加工。安徽微流控芯片之PI柔性器件

標準化PDMS芯片產線：公司自建的PDMS芯片產線采用全自動化模塑工藝，涵蓋原料混煉、真空脫泡、高溫固化（80℃/2 h）及等離子親水化處理等關鍵環節。產線配備高精度模具（公差±2 μm）與光學檢測系統，可批量生產單分子檢測芯片、液滴生成芯片等產品。例如，液滴芯片通過流聚焦結構生成單分散乳液（CV<3%），通量達10,000滴/秒，用于單細胞RNA測序時，細胞捕獲效率超過95%。此外，PDMS芯片的表面改性技術（如二氧化硅涂層）可降低生物污染，在長期細胞培養中保持表面親水性超過30天。該產線已為多家IVD企業提供定制化服務，例如開發的核酸快檢芯片，將樣本到結果的時間縮短至30分鐘，靈敏度達98%，成為基層醫療機構的主要檢測工具。河北微流控芯片批量定制微米級微流控芯片通過電鏡觀測確保結構精度，適用于液滴分散與單分子分析。

Cascade 有兩個測試用戶：馬里蘭大學Don DeVoe教授的微流體實驗室和加州大學Carl Meinhart教授的微流體實驗室。德國thinXXS公司開發了另一套微流控分析設備。該設備提供了一個由微反應板裝配平臺、模塊載片以及連接器和管道所組成的結構工具包。可單獨購買模塊載片。 ThinXXS還制造獨有芯片，生產微流體和微光學設備和部件并提供相應的服務。將微流控技術應用于光學檢測已經計劃很多年了，thinXXS一直都在進行這方面的綜合研究，但未提供詳細資料。但是，據了解，該技術采用了先進的MEMS傳感器的微納米制造工藝，所以芯片得到了非常好的測試效果。

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模，然后在陽模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結構的基片，之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡單易行，不需要高技術設備，是大量生產廉價芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當的陽模。多樣化微流控芯片加工案例覆蓋數字 PCR、單分子檢測、POCT 等多個領域。

目前微流控創新的許多應用都被報道用于惡性tumour的檢測和cure。據報道，apparatus微流控芯片用于研究特定身體（如大腦，肺，心臟，腎臟，腸道和皮膚）的生理過程。值得注意的是，微流控創新在之前的COVID 19大流行形勢中發揮著重要作用，特別是在cure策略和冠狀病毒顆粒分析中，通過與qRT-PCR策略相結合。因此，微流控創新技術已證明它是一種優越的技術。基于這些事實，可以得出結論，微流控芯片在復制生物體的復雜性之前還有很長的路要走。微流控芯片技術用于PCR反應。河北微流控芯片批量定制

微流控芯片材料多樣，PDMS 軟硅膠適用于生物相容性場景，玻璃適合高透檢測。安徽微流控芯片之PI柔性器件

腸道微流控芯片（GoC）：GoC系統模仿人類腸道的生理學。它解釋了腸道的主要功能，即消化、營養物質的吸收、腸神經的調節、體內廢物的排泄、以及伴隨微生物共生體的人體腸道的病理生理學。GoC模型主要用于精確復制具有所需微流控參數的腸道體內環境。Kim等人研究了當人類GoC被腸道微生物群落占據時腸道的蠕動運動。通過對齊兩個微通道（上部和下部）來設計微型器件，該微通道雕刻在PDMS層上，該PDMS是通過基于MEMS的微納米制造工藝制作的模板翻模制備而來，且PDMS層由涂有ECM的多孔柔性膜隔開。如圖所示，該裝置被模仿人類腸道生理學的人腸上皮細胞包裹。這樣的系統可以模擬人類腸道在某些特定因素下的蠕動運動，即流體流速。安徽微流控芯片之PI柔性器件