超高精度溫度控制是精密環控柜的一大突出亮點。其自主研發的高精密控溫技術,使得控制輸出精度達到驚人的 0.1% ,這意味著對溫度的調控能夠精細到極小的范圍。設備內部溫度穩定性在關鍵區域可達 +/-2mK (靜態) ,無論外界環境如何變化,都能保證關鍵部位的溫度處于極其穩定的狀態。內部溫度規格可在 22.0°C (可調) ,滿足不同用戶對溫度的個性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ,確保柜內各個角落的溫度幾乎一致,避免因溫度差異導致的實驗誤差或產品質量問題。再加上設備內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h ,以及壓力穩定性可達 +/-3Pa ,連續穩定工作時間大于 144h ,為對溫濕度、壓力要求苛刻的實驗和生產提供了可靠的環境保障,讓長時間的科研實驗和精密制造得以順利進行。精密環境控制設備內部,關鍵區域靜態下溫度穩定性高,可達 +/-5mK 精度。0.5℃溫濕度調節
我司憑借深厚的技術積累,自主研發出高精密控溫技術,精度高達 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環境控制。該系統潔凈度可實現百級、十級、一級。關鍵區域 ±5mK(靜態)的溫度穩定性,以及均勻性小于 16mK/m 的內部溫度規格,為諸如芯片研發這類對溫度極度敏感的項目,打造了近乎完美的溫場環境,保障實驗數據不受溫度干擾。同時,設備內部濕度穩定性可達±0.5%@8h,壓力穩定性可達+/-3Pa,長達 144h 的連續穩定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面,實現百級以上潔凈度控制,工作區潔凈度優于 ISO class3,確保實驗結果的準確性與可靠性,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。0.5℃溫濕度調節可實現潔凈度百級、十級,溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環境控制。
電子顯微鏡用于觀察微觀世界,其內部的電子束對環境要求極高。環境中的塵埃顆粒可能吸附在電子束路徑上的部件表面,影響成像質量。精密環控柜的超高水準潔凈度控制,將空氣中塵埃過濾干凈,為電子顯微鏡提供超潔凈空間。同時,其具備的抗微震功能,能有效隔絕外界震動干擾,確保電子顯微鏡穩定成像,讓科研人員清晰觀察微觀結構。對于光學顯微鏡,溫度和濕度變化會影響鏡片的光學性能。濕度不穩定可能導致鏡片表面產生水汽凝結,降低光線透過率。精密環控柜通過溫濕度控制,為光學顯微鏡提供穩定環境,保證其光學性能穩定,成像清晰。
芯片蝕刻時,刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關重要。溫度波動如同 “蝴蝶效應”,可能引發刻蝕過度或不足。精密環控柜穩定的溫度控制,以及可達 ±0.5%@8h 的濕度穩定性,有效避免因環境因素導致的刻蝕異常,保障芯片蝕刻質量。芯片沉積與封裝過程中,精密環控柜的超高水準潔凈度控制發揮關鍵作用。其可實現百級以上潔凈度控制,內部潔凈度優于 ISO class3,杜絕塵埃顆粒污染芯片,防止水汽對芯片材料的不良影響,確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成。
激光干涉儀用于測量微小位移,精度可達納米級別。溫度波動哪怕只有 1℃,由于儀器主體與測量目標所處環境溫度不一致,二者熱脹冷縮程度不同,會造成測量基線的微妙變化,導致測量位移結果出現偏差,在高精度機械加工零件的尺寸檢測中,這種偏差可能使零件被誤判為不合格品,增加生產成本。高濕度環境下,水汽會干擾激光的傳播路徑,使激光發生散射,降低干涉條紋的對比度,影響測量人員對條紋移動的精確判斷,進而無法準確獲取位移數據,給精密制造、航空航天等領域的科研與生產帶來極大困擾。該系統集成暖通通風、環境潔凈、照明安防及實驗室管理系統,能夠實時記錄查詢數據。高精度溫濕度設備成本
為航天零部件檢測打造的專屬環境,滿足其對溫濕度、潔凈度近乎苛刻的要求。0.5℃溫濕度調節
在計量校準實驗室中,高精度的電子天平用于精確稱量微小質量差異,對環境溫濕度要求極高。若溫度突然升高 2℃,天平內部的金屬部件受熱膨脹,傳感器的靈敏度隨之改變,原本能測量到微克級別的質量變化,此時卻出現讀數偏差,導致測量結果失準。濕度方面,當濕度上升至 70% 以上,空氣中的水汽容易吸附在天平的稱量盤及內部精密機械結構上,增加了額外的重量,使得測量數據偏大,無法反映被測量物體的真實質量,進而影響科研實驗數據的可靠性以及工業生產中原材料配比度。0.5℃溫濕度調節