激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號，因而對于激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。激光干涉儀使用注意事項：必要時要使用精密儀表油潤滑。工業激光干涉儀定制

激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。現代激光干涉技術是在人類關于光學的幾乎全部知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。工業激光干涉儀定制激光干涉儀配有各種附件。

激光干涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。當高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發，形成激光光束，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實現平衡狀態，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內，此時穩定輸出后，激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。

激光干涉儀的使用注意事項：激光干涉儀的使用注意事項激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。對激光干涉儀要小心輕放，避免強烈的沖擊震動，安置儀器前應檢查三腳架的牢固性，整個作業過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發生。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。

激光干涉儀引力波探測器對光學鏡的要求：(1)體積和重量；激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發散,光斑變大。為了避免邊緣效應光學鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質量一般為20kg左右。(2)熱傳導及熱噪聲；當激光干涉儀引力波探測器運行時,臂上法布里-珀羅腔內的激光功率非常強,例如高級LIGO達到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內部不能有結構上的缺陷。為減小由于局部發熱而產生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。激光干涉儀使用注意事項：儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。精密測量激光干涉儀

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。工業激光干涉儀定制

隨著高精度數控機床行業的快速發展，激光干涉儀在機床行業的使用越來越普遍，然而其在使用過程中對激光光路的準直調整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題，因為激光干涉儀在使用過程中光路準直調整占用了很大一部分時間。目前大多數生產企業的激光干涉儀操作人員的校準方法都是憑經驗，來回反復調整，也有人提出“高處動尾部，低處動整體”的方法。其實后一種方法只是對前者的一種方法的經驗總結，后一種方法是從整體上把握了調整的方向，可以讓操作人員少走彎路，但并未提出一種定量的調整方法，所以在光路大體調整好后，還是靠經驗感覺反復進行進一步精調，所以光路準直工作的效率還是亟待提高。工業激光干涉儀定制