近年來全球硅晶圓供給不足，導致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底。目前國內(nèi)多個硅晶圓項目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進口依賴，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應（碳氧結(jié)合，得硅），提純得純度約為98%的純硅，又稱冶金級硅，這對微電子器件來說依然不夠純，因為半導體材料的電學特性對雜質(zhì)的濃度相當?shù)拿舾校蚨鴮σ苯鸺壒枳鬟M一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的氯化氫進行氯化反應，生成液態(tài)的硅烷，然后通過蒸餾和化學還原工藝，得到了高純度的多晶硅，其純度達99%，成為電子級硅。 與剛性機械臂相比較，柔性機械臂具有結(jié)構輕、載重/自重比高等特性。安徽官方晶圓運送機械吸臂代理廠家

例如：尋找，運輸，握取，對準，裝配，檢驗等動作. 為了明確地描述工業(yè)機械人，美國機械人協(xié)會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制，多功能的操作器，它透過程式控制和多變化的動作設計來移動材料，工件，工具或特別設備，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業(yè)機械人并非有人的形態(tài)，但只要它們符合機械人的定義，便可以稱為機械人.工業(yè)機械人雖然已被廣泛應用在多種制造行業(yè)內(nèi)，但估計在不久將來還會有數(shù)以十萬計的工業(yè)機械人投入服務.現(xiàn)時，不少研究人員正為機械人研究如何加入視覺和感覺，令機械人可以完成更復雜的工作.而研究機械人的學問稱為機械人學。南京原裝晶圓運送機械吸臂經(jīng)銷批發(fā)車床行業(yè)機械臂又名車床自動上下料機械手、上下料機械手。

隨著半導體制造工藝向更小尺寸、更高集成度的方向發(fā)展，對機械吸臂的精度和穩(wěn)定性要求越來越高。在納米級的制造工藝中，吸臂的微小振動、位置偏差或吸附力不均勻都可能對晶圓造成嚴重影響。因此，如何進一步提高吸臂的運動精度和穩(wěn)定性，減少各種誤差因素的影響，是當前面臨的一個重要挑戰(zhàn)。半導體制造車間的環(huán)境要求極為嚴格，需要在超凈、恒溫、恒濕的條件下進行生產(chǎn)。機械吸臂在這樣的環(huán)境中運行，需要具備良好的防塵、防靜電、耐腐蝕等性能。同時，為了滿足不同工藝設備的接口要求和工作空間限制，吸臂的設計還需要具備更高的靈活性和兼容性。如何在滿足這些復雜環(huán)境和工藝要求的前提下，保證吸臂的可靠性和使用壽命，也是需要解決的關鍵問題。

本發(fā)明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術：

在半導體加工設備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產(chǎn)能就越大。隨著半導體工藝的發(fā)展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結(jié)構合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

普遍認為機械臂是實現(xiàn)智能制造的很好的載體，可以實現(xiàn)五軸數(shù)控無法實現(xiàn)的大操作空間與靈活性。

    區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點高，化學性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區(qū)熔法一般不使用坩鍋，引入的雜質(zhì)更少，生長的材料雜質(zhì)含量也就更少。總而言之，單晶硅棒是圓柱形的，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎？Bingo，圖左的尖尖是籽晶，圖右的尖尖是晶棒長到***，從熔融態(tài)里出來后，由于復雜的流體力學原理，以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導致的。 機械手要獲得較高的位置精度，除采用先進的控制方法外，在結(jié)構上還注意以下幾個問題；陽江新款晶圓運送機械吸臂市場報價

機械手的剛度、偏重力矩、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度。安徽官方晶圓運送機械吸臂代理廠家

主體部分通常采用強度高、輕質(zhì)的材料，如鋁合金或碳纖維復合材料，以確保在保證結(jié)構強度的同時減輕自身重量，減少運動慣性，提高操作的靈活性和響應速度。吸臂的形狀和尺寸經(jīng)過精心設計，以適應不同尺寸晶圓的搬運需求。一般具有多個關節(jié)和自由度，能夠?qū)崿F(xiàn)多角度的靈活運動，類似于人類手臂的關節(jié)活動。例如，常見的多關節(jié)機械吸臂可以在三維空間內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)、伸展、彎曲等動作，確保晶圓能夠準確地從一個位置移動到另一個位置，無論是在光刻機、刻蝕機等設備之間的轉(zhuǎn)移，還是在晶圓存儲盒與加工設備之間的傳送，都能精確無誤。安徽官方晶圓運送機械吸臂代理廠家

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