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杭州mems真空計生產企業

來源: 發布時間:2025-05-23

皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍尼真空計”,屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發明。皮拉尼曾在從事真空燈行業的西門子和哈爾斯克公司工作,當時需要高真空環境來制造燈絲,而生產環境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。當氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數,在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測量的電流間接測量真空值。真空計如何快速選型?杭州mems真空計生產企業

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   常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數與氣體種類有關。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關。杭州高質量真空計生產企業真空計如何選型與使用?

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概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環境中壓力的傳感器,應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發生形變。信號轉換:形變通過壓阻或電容效應轉換為電信號。信號處理:電信號經放大和處理后,輸出與壓力對應的讀數。主要特點高精度:測量精度高,適用于低真空至高真空范圍。耐腐蝕:陶瓷材料耐腐蝕,適合惡劣環境。穩定性好:長期穩定性優異,漂移小。寬量程:覆蓋從低真空到高真空的范圍。

熱傳導真空計:利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數,故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍,采取特殊措施可擴大測量范圍。不過,熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關,而且易受熱絲表面污染、環境溫度等因素影響,故準確度不高,只作粗略的真空指示用。粘滯真空計:利用在真空中轉動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發生運動衰減的現象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中,用旋轉磁場把鋼球加速到400轉/秒,然后停止加速,任其自然衰減,用電子學方法精確測量其轉速衰減率,從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度,吸氣、放氣速率小,壓強指示受氣體種類影響小,如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數受振動影響較大,測量時間也較長。因此,它可作為1~10^-4帕范圍內的副標準真空計或用作標準傳遞真空計。皮拉尼真空計的測量范圍取決于所使用的具體型號和規格。

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真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等,這類真空計所測量的物理參數與氣體成分無關,測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下,直接進行測量是極其困難的。相對真空計:通過測量與壓強有關的物理量,并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等,它的特點是測量的準確度略差,而且和氣體的種類有關。在實際生產中,除真空校準外,大都使用相對真空計。如何判斷電容真空計是否出現故障?無錫mems皮拉尼真空計多少錢

皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器,它是根據皮拉尼原理制成的。杭州mems真空計生產企業

6. 麥克勞真空計麥克勞真空計,通過壓縮氣體測量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。原理:利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優點:精度高,無需校準。缺點:操作復雜,響應慢。應用:實驗室高真空校準。7. 質譜儀質譜儀通過分析氣體成分來間接測量壓力,適用于超高真空和極高真空范圍。(1)四極質譜儀原理:利用四極電場分離氣體離子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?12 Torr 到 10?? Torr。優點:可分析氣體成分。缺點:成本高,操作復雜。應用:超高真空和極高真空系統。杭州mems真空計生產企業

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