真空測量是指用特定的儀器和裝置，對某一特定空間內真空高低的測定，這種儀器或裝置稱為真空計（儀器、規管）。真空計的種類很多，通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類：***真空計：通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等，這類真空計所測量的物理參數與氣體成分無關，測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下，直接進行測量是極其困難的。相對真空計：通過測量與壓強有關的物理量，并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等，它的特點是測量的準確度略差，而且和氣體的種類有關。在實際生產中，除真空校準外，大都使用相對真空計。什么是真空測量？真空如何測量？浙江高純度真空計原廠家

選擇適合的真空計對確保測量精度和系統穩定運行至關重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關鍵因素：1. 測量范圍真空度需求：根據應用需求選擇適合的測量范圍，如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配：確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求：選擇滿足精度要求的真空計，高精度應用需選擇高精度型號。分辨率：確保分辨率足夠高，能檢測到微小壓力變化。3. 響應時間快速響應：對壓力變化敏感的應用需選擇響應時間短的真空計。穩定性：在快速變化環境中，選擇穩定性好的真空計。4. 環境適應性溫度范圍：確保真空計能在工作溫度范圍內正常運行。耐腐蝕性：在腐蝕性氣體環境中，選擇耐腐蝕材料制成的真空計。5. 氣體類型氣體種類：不同氣體對真空計測量有影響，選擇適合測量特定氣體的真空計。氣體清潔度：在污染氣體環境中，選擇不易受污染的真空計。上海高純度真空計原廠家選擇真空計時需要綜合考慮多個因素。

由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛，任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境，只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵，或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示，根據真空度的不同，又可以將真空泵分為以下幾種類型：(1)低真空（粗真空）泵：真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型：旋片式真空泵、水環真空泵、往復式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵：真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型：螺桿泵、油封機械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵：真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型：滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵：真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型：旋轉活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵等。*注釋：真空度：真空度是指處于真空狀態下的氣體稀薄程度。若所測設備內的壓強低于大氣壓強，其壓力測量需要真空表。從真空表所讀得的數值稱真空度。計算方法：真空度=大氣壓強-***壓強。單位：帕斯卡（Pa）、千帕（KPa）、兆帕（MPa）、大氣壓（atm）、毫米汞柱（mmHg）、巴（bar）、托（Torr）等

利用氣體動力學效用類真空計測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產生的彈性變形或其他力學性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規。a）波爾登規利用彈性元件（如波紋管）在壓力作用下的變形來測量真空度。當氣體壓力作用在波紋管上時，波紋管會產生變形，這種變形可以通過機械傳動機構轉化為指針的偏轉，從而指示出真空度的大小。b）電容薄膜真空計利用薄膜的形變與電容的變化關系來測量真空度。當氣壓發生變化時，薄膜會相應地產生形變，這種形變會導致電容的改變，進而通過測量電容的變化量來推算出真空度的數值。薄膜電容規具有結構簡單、響應迅速、測量范圍廣等特點。如何減少電磁干擾對皮拉尼真空計的影響？

皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補償原理，通過測量一個發熱體與一個接收發熱體之間的熱傳導程度來判斷氣體的壓力。具體來說，當加熱燈絲（一般為鉑絲）被恒定電流加熱時，其溫度會升高。對于給定大小的電流，加熱絲的溫度取決于通過傳導和對流向周圍介質（即氣體）散熱的速率。在真空或低壓環境中，加熱絲的熱導率（即將熱量散發給周圍介質的能力）會降低，導致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會引起導線電阻的變化，這種變化可以通過惠斯通電橋來測量。當氣體分子密度發生變化時，熱量從金屬絲傳遞到氣體會受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力，使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應變化。因此，可以通過測量這種能量變化來間接測量真空壓力。電容真空計在哪些領域有應用？高精度真空計設備供應商

在皮拉尼真空計中，熱敏電阻被放置在一個密閉的容器中，容器的內部空氣被抽空，使其成為真空。浙江高純度真空計原廠家

6. 麥克勞真空計麥克勞真空計，通過壓縮氣體測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。原理：利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優點：精度高，無需校準。缺點：操作復雜，響應慢。應用：實驗室高真空校準。7. 質譜儀質譜儀通過分析氣體成分來間接測量壓力，適用于超高真空和極高真空范圍。（1）四極質譜儀原理：利用四極電場分離氣體離子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?12 Torr 到 10?? Torr。優點：可分析氣體成分。缺點：成本高，操作復雜。應用：超高真空和極高真空系統。浙江高純度真空計原廠家