除去75重量％的油。在45°C下的簡單加熱、或者在環境溫度(20°C)下的簡單攪拌或超聲應用可以除去所有的沉積油。此外，沒有觀察到油的溶解，而是觀察到上升到液體表面的油的脫離(卷起機理(rollingupmechanism)).與快速導致溶劑飽和的溶解機理相比，該卷起機理更為有利。油溶解試驗的總體過程將硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待評價組合物中，并測定在環境溫度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相對于該混合物的百分數表示)。實施例5在使用％的九氟丁基乙基醚和％的甲基四氫呋喃的共沸組合物的情況下，溶解超過17重量％的油。實施例6在使用九氟丁基乙基醚的情況下，多溶解2重量％的油并且觀察到反混合(demixing)。權利要求組合物，其包含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F9OR的九氟丁基烷基醚，在式C4F9OR中，R具有1～4個碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。2.權利要求1的組合物，特征在于，所述組合物包含540重量％的甲基四氫呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。3.權利要求1或2的組合物，特征在于，所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。4.權利要求13中任一項的組合物，特征在于。選擇BOE蝕刻液，實現高精度蝕刻效果。江西工業級BOE蝕刻液供應商

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