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來源: 發布時間:2025-06-04

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    所述的磷酸濃度為82-87%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,醇醚類的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,表面活性劑的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進一步地,在使用本發明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時,蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,改善了磷酸的浸潤性和表面張力,明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,本發明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,采用超純水清洗和氮氣吹干后,使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量。湖南如何分類BOE蝕刻液蘇州博洋化學股份有限公司,專業的BOE蝕刻液生產商。

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    表%九氟丁基甲基醚和50重量%甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出92重量%九氟丁基甲基醚和8重量%甲基四氫呋喃的共沸組合物,其在°C的沸點。實施例2如實施例1所述進行沸點測定方法。表II給出九氟丁基乙基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量%甲基四氫呋喃的重量%(°C)%九氟丁基乙基醚和50重量%甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出%九氟丁基乙基醚和%甲基四氫呋喃的共沸組合物,其在°C的沸點。清洗試驗的總體過程首先,用FORANE141b對2X5cm的不銹鋼片材進行脫脂。這些片材各自在測試之前稱重,其構成皮重。然后,在這些片材的單側上涂布油REDUCTELFSP460。對該涂布有油的片材進行稱重,并由與皮重的差值推算出涂布的油的量。接下來,將該涂布有油的片材浸5入到含有100ml待評價組合物的燒杯中5分鐘,不進行攪拌且無超聲。該片材一移出,就在通風的情況下進行15分鐘的滴干(dripdry),并且,在該15分鐘結束時,通過稱重測定油的殘留量。與油的初始量相比,計算移除的油的百分數。實施例3在使用九氟丁基甲基醚的組合物的情況下,得到0%的油移除率。實施例4在使用包含8重量%的2-MeTHF和92重量%的九氟丁基甲基醚的組合物的情況下。BOE蝕刻液使用時要注意什么?

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