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浙江工業級BOE蝕刻液供應

來源: 發布時間:2025-06-11

    可通過蒸發或蒸餾或者通過對比給定溫度下的泡點或的蒸氣壓來實施共沸型化合物的確定。在工業應用的情況下使用共沸物是特別有利的,以使組合物再生,例如當其飽和有污染物的時候。簡單蒸餾可回收初的共沸組合物,而沒有各組分的任何分餾。而且,2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優點。因此,半纖維素多糖是含有5個碳原子的基于糖的聚合物。當在硫酸的存在下加熱半纖維素時,得到戊糖(含有5個碳原子的糖),例如木糖。當進行木糖的熱脫水時,該木糖轉化為糠醛。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外,根據本發明的一些組合物是不可燃的(根據ASTMD3828標準,閉杯閃點高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應用的制冷劑。它們也可用作發泡劑。實驗部分實施例1通過使用沸點測定技術測量液體混合物的沸點。首先,將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點測定儀中,然后,使其沸騰。在達到平衡狀態之后,記錄在大氣壓下的沸點。然后,將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點測定儀中并且在已達到平衡狀態之后再次記錄溫度。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。BOE蝕刻液,讓您的產品更出色。浙江工業級BOE蝕刻液供應

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮氣吹干后,使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點的厚度進行測量,計算蝕刻前后6個取點的厚度差值,對比6個點之間的厚度差值的差異。與現有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發明的有益效果是:醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實施方式下面結合具體實施例,進一步闡述本發明,對本發明做進一步詳細的說明,但不限于這些實施例。本發明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時間為10min。先對所配制蝕刻液的表面張力進行檢測,然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮氣吹干后,進行接觸角的測量;蝕刻前使用超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,在氮化硅樣片上取6個不同位置的點對其厚度進行測量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,取與蝕刻前相同位置的6個點進行厚度測量。實施例1本發明的實施例按蝕刻液總質量為400g進行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中。BOE蝕刻液的溶液成分。上海如何分類BOE蝕刻液電話

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