激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號,因而對于激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。激光干涉儀作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。浙江數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀供應(yīng)商
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光,具有強(qiáng)度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器。同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角。可選的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。廣東科研開發(fā)激光干涉儀廠家若光程差有變化時(shí),探測器會在每一次光程變化時(shí),在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號。
激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一,它以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。未來,激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等方面進(jìn)行發(fā)展,從測量數(shù)據(jù)的可靠性、精確性,以及測量儀器的便攜性等,不斷改善激光干涉儀的各項(xiàng)性能。
激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置精度的理想工具,可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線,為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件,可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大尺寸的動(dòng)態(tài)位移測量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能,可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測和刻劃定位。激光干涉儀的使用注意事項(xiàng):各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。
激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達(dá)到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納米(nm)的波長輸出。激光具有三個(gè)重要特性:激光波長非常穩(wěn)定,可以滿足精密測量的要求。激光波長非常短,可以用于高精度測量。激光具有干涉特性。激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等。數(shù)控軸直線度激光干涉儀維護(hù)
影響激光干涉儀測量精度的因素包括:在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。浙江數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀供應(yīng)商
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時(shí),激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí),這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時(shí),激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí),這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。浙江數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀供應(yīng)商