激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀的注意事項：儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。數控設備定位精度激光干涉儀加工生產

現代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。數控設備定位精度激光干涉儀報價激光干涉儀受環境因素影響較大。

多功能激光干涉儀：主要適用于測量光脈沖、電脈沖以及磁脈沖的信號，如測量光強和電壓隨時間變化的波形。因為它的響應速度極快，是微微秒(Ps)量級。所以，它非常適用于超快變電場和超短光脈沖信號變化的測量。已有技術主要有兩個方面。一是普通干涉儀，如一九八七年機械工業出版社出版的“剪切干涉儀及其應用”一書中描述的干涉儀，可用來做多樣的測量工作，但它既不能像示波器一樣示波顯示電信號的波形，也不能示波顯示光信號、磁信號的波形。雖然能示波顯示電信號和光信號的波形，但不能示波顯示其他如磁信號的波形等。而且，這些測量系統內不含有干涉系統。

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線，為數控機床的誤差修正提供可靠依據，現場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動態位移測量系統。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量。

激光干涉儀的測量精度高：以激光干涉技術為關鍵，分辨率可達納米級;采用高精度環境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響;使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度;干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉軸分度精度的測量。激光干涉儀要設置專庫存放。南京精密儀器校準激光干涉儀安裝

激光干涉儀的應用：數控機床動態的性能檢測。數控設備定位精度激光干涉儀加工生產

激光干涉儀的應用：數控機床動態性能檢測。利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光波長非常穩定，可以滿足精密測量的要求。激光具有干涉特性。數控設備定位精度激光干涉儀加工生產

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