遼寧低溫光刻膠工廠

來源：發布時間：2025-06-05

廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產品，主要涵蓋厚板、負性、正性、納米壓印及光刻膠等類別，以滿足不同領域的需求。

UV 納米壓印光刻膠：JT-2000 型號，耐強酸強堿，耐高溫達 250°C，長期可靠性高，粘接強度高，重量 100g。適用于需要在特殊化學和高溫環境下進行納米壓印光刻的工藝，如半導體器件制造。

其他光刻膠

水油光刻膠 JT-2001：屬于水油兩用光刻膠，具有工廠研發、可定制、使用、品質保障、性能穩定的特點，重量 1L。
水油光刻膠 SR-3308：同樣為水油兩用光刻膠，重量 5L，具備上述通用優勢，應用場景。

正性光刻膠生產原料。遼寧低溫光刻膠工廠

關鍵工藝流程

涂布：

? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度調整），需均勻無氣泡（旋涂轉速500-5000rpm）。

前烘（Soft Bake）：

? 加熱（80-120℃）去除溶劑，固化膠膜，增強附著力（避免顯影時邊緣剝離）。

曝光：

? 光源匹配：

? G/I線膠：汞燈（適用于≥1μm線寬，如PCB、LCD）。

? DUV膠（248nm/193nm）：KrF/ArF準分子激光（用于28nm-14nm制程，如存儲芯片）。

? EUV膠（13.5nm）：極紫外光源（用于7nm以下制程，需控制納米級缺陷）。

? 曝光能量：需精確控制（如ArF膠約50mJ/cm2），避免過曝或欠曝導致圖案失真。

顯影：

? 采用堿性溶液（如0.262N四甲基氫氧化銨，TMAH），曝光區域膠膜溶解，未曝光區域保留，形成三維立體圖案。

后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：

? 化學增幅型膠需此步驟，通過加熱（90-130℃）激發光酸催化反應，提高分辨率和耐蝕刻性。

江蘇水油光刻膠品牌吉田半導體強化研發，布局下一代光刻技術。

納米制造與表面工程

? 納米結構模板：作為納米壓印光刻（NIL）的母版制備材料，通過電子束光刻膠寫出高精度納米圖案（如50nm以下的柱陣列、孔陣列），用于批量復制微流控芯片或柔性顯示基板。

? 表面功能化：在基底表面構建納米級粗糙度（如仿生荷葉超疏水表面）或化學圖案（引導細胞定向生長的納米溝槽），用于生物醫學或能源材料（如電池電極的納米陣列結構）。

量子技術與精密測量

? 超導量子比特：在鈮酸鋰或硅基底上，通過光刻膠定義納米級約瑟夫森結陣列，構建量子電路。

? 納米傳感器：制備納米級懸臂梁（表面鍍光刻膠圖案化的金屬電極），用于探測單個分子的質量或電荷變化（分辨率達亞納米級）。

吉田半導體納米壓印光刻膠 JT-2000：國產技術突破耐高溫極限

自主研發 JT-2000 納米壓印光刻膠耐受 250℃高溫，為國產納米器件制造提供關鍵材料。吉田半導體 JT-2000 納米壓印光刻膠采用國產交聯樹脂，在 250℃高溫下仍保持圖形保真度 > 95%。產品采用國產原材料與全自動化工藝，其高粘接強度與耐強酸強堿特性，適用于光學元件、傳感器等精密器件。產品已通過國內科研機構驗證，應用于國產 EUV 光刻機前道工藝，幫助客戶實現納米結構加工自主化。

水性感光膠推薦吉田 JT-1200，精細網點 + 易操作性！

技術優勢：23年研發沉淀與細分領域突破

全流程自主化能力

吉田在光刻膠研發中實現了從樹脂合成、光引發劑制備到配方優化的全流程自主化。例如，其納米壓印光刻膠通過自主開發的樹脂體系，實現了3μm的分辨率，適用于MEMS傳感器、光學器件等領域。

技術壁壘：公司擁有23年光刻膠研發經驗，掌握光刻膠主要原材料（如樹脂、光酸）的合成技術，部分原材料純度達PPT級。

細分領域技術先進

? 納米壓印光刻膠：在納米級圖案化領域（如量子點顯示、生物芯片）實現技術突破，分辨率達3μm，填補國內空缺。

? LCD光刻膠：針對顯示面板行業需求，開發出高感光度、高對比度的光刻膠，適配AMOLED、Micro LED等新型顯示技術。

研發投入與合作

公司2018年獲高新技術性企業認證，與新材料領域同伴們合作開發半導體光刻膠，計劃2025年啟動半導體用KrF光刻膠研發。

吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造光刻膠。大連高溫光刻膠感光膠

光刻膠的顯示面板領域。遼寧低溫光刻膠工廠

感光機制

? 重氮型（雙液型）：需混合光敏劑（如二疊氮二苯乙烯二磺酸鈉），曝光后通過交聯反應固化，適用于精細圖案（如PCB電路線寬≤0.15mm）。

? SBQ型（單液型）：預混光敏劑，無需調配，感光度高（曝光時間縮短30%），適合快速制版（如服裝印花）。

? 環保型：采用無鉻配方（如CN10243143A），通過多元固化體系（熱固化+光固化）實現12-15mJ/cm2快速曝光，分辨率達2μm，符合歐盟REACH標準。

功能細分

? 耐溶劑型：如日本村上AD20，耐酒精、甲苯等溶劑，適用于電子油墨印刷。

? 耐水型：如瑞士科特1711，抗水性強，適合紡織品水性漿料。

? 厚版型：如德國K?ppen厚版膠，單次涂布可達50μm，用于立體印刷。

典型應用場景：

? PCB制造：使用360目尼龍網+重氮感光膠，配合LED曝光（405nm波長），實現0.15mm線寬，耐酸性蝕刻液。

? 紡織印花：圓網制版采用9806A型感光膠，涂布厚度20μm，耐堿性染料色漿，耐印率超10萬次。

? 包裝印刷：柔版制版選用杜邦賽麗® Lightning LFH版材，UV-LED曝光+無溶劑工藝，碳排放降低40%。

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標簽：錫膏錫片光刻膠

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吉田半導體納米壓印光刻膠 JT-2000：國產技術突破耐高溫極限

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