本公司方法涉及一種基于法向跟蹤的自由曲面共焦測量方法及裝置，屬于光學精密檢測領域。背景技術：自由曲面光學元件具有較大的表面形貌自由度，在成像系統中具有改善光學系統成像質量、提高分辨能力、增大作用距離、簡化儀器結構、減小儀器體積重量和提高可靠性等優點。使用自由曲面光學系統代替的平面鏡、球面鏡、共軸二次曲面鏡等已經成為光學系統發展的重要趨勢。但是，自由曲面在增加了設計自由度的同時，對光學設計、加工和檢測提出了更高的要求。隨著光學cad與數控金剛石點加工技術在光學設計與制造中得到成功應用，自由曲面的設計與加工已不再是主要技術障礙，但測量問題卻成為亟待研究解決的難題。金剛石點加工技術對自由曲面面形的加工精度，主要取決于對面形上各點空間坐標的測量準確度，因此，元件面形能否滿足設計要求，必須由高精度的檢測技術來保證。目前，國際上自由曲面的表面輪廓測量方法，主要分為光場圖像探測法、層析掃描探測法和探針三維掃描探測法三大類。其中，圖像探測法測量過程無需對樣品進行掃描，測量速度快，但易受到樣品表面反射率、粗糙度等特性差異影響，無法適應任意傾角變化的自由曲面高精度測量；層析掃描法原理簡單。飛行器類玻璃質量檢測，精度1μm。深圳汽車玻璃面型檢測公司

    當匯聚光束的角度與自由曲面樣品11在測量點m的法線方向不一致時，返回光束經過分光鏡4反射在四象限探測器13的光斑不會處于四象限探測器13的中心，因此，法向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca17根據四象限探測器13的探測信號對x電機5和y電機7進行伺服控制，使得返回光的光束中心位置始終處于四象限探測器13的中心，即說明實現了對自由曲面樣品11的法向跟蹤；由于已經實現了對自由曲面樣品11的法向跟蹤，因此探測光束沿原光路返回進入共焦探測模塊，軸向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca18控制物鏡驅動器9進行軸向掃描獲得共焦軸向強度曲線20，共焦軸向強度曲線20的峰值點對應著物鏡10的焦點，即對應自由曲面樣品11的軸向坐標，實現了在法向跟蹤的前提下利用激光共焦測量方法完成對測量點m的軸向位置的測量；在完成對測量點m的軸向位置測量后，掃描60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca19驅動二維精密位移臺12按照圖4所示掃描路徑進行掃描探測，直至完成全部掃描點，進而重建出自由曲面樣品11的三維輪廓。以上所述的具體描述，對公司方法的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述為本公司方法的具體實施例而已，并不用于限定本公司方法的保護范圍。上海在線玻璃面型檢測質量好價格憂的廠家大面幅玻璃平面度、輪廓、裂紋等缺陷檢測，在線檢測，高精度檢測，減少人工，節約成本。

    用于對汽車玻璃的尺寸進行檢測，包括步驟：1)獲取標準汽車玻璃圖像和待檢測的汽車玻璃圖像；2)對各汽車玻璃圖像進行邊緣提取，得到各汽車玻璃圖像的像素級邊緣輪廓；3)對像素級邊緣輪廓進行亞像素定位，得到各汽車玻璃圖像的亞像素邊緣輪廓；4)按如上所述的配準方法對得到的標準汽車玻璃輪廓和待檢測汽車玻璃輪廓進行配準；5)計算待檢測玻璃的誤差尺寸，通過誤差尺寸確定待檢測的汽車玻璃是否合格。本方法的基于機器視覺的汽車玻璃檢測方法，首先獲取汽車玻璃的圖像，再對獲取到的汽車玻璃圖像進行系列處理，計算得到玻璃的尺寸信息，根據設置的公差判斷生產的玻璃是否合格，此種非接觸式測量方法，耗時較短，測量精度高，可以**提高工廠的生產效率，實現玻璃制造行業的快速高效發展。本實施例中，在步驟2)中，通過canny算子對預處理后的圖像進行邊緣提取，對應步驟為：)用一維高斯函數對圖像進行平滑濾波，高斯函數g(x，y)表示如下：用高斯函數g(x，y)對原始圖像f(x，y)進行卷積計算，得到平滑圖像i(x,y)：i(x,y)＝g(x,y)*f(x,y))用2×2鄰域內的一階偏導的有限差分對平滑圖像i(x,y)進行梯度計算。

    所述步驟s5中濾波處理為通過ua3p處理軟件對掃描測量取點進行粗差濾波處理。推薦的，所述步驟s5中測量結果包括模具超精密配件擴展式多項次自由曲面的加工與設計理論值差異的三維輪廓面精度。需更進一步的解釋，本公司方法通過構建參數公式并采用c++編程導入ua3p建立設計擴展式多次項自由曲面模型，確保加工的自由曲面工件得以檢測及測量結果精度高誤差小（精度精確到），彌補了市面上以往沒有辦法檢測解析擴展式多項次自由曲面，只有通過實際組裝來判定加工的東西是否符合標準的空白。以上結合附圖對本公司方法進行了示例性描述。顯然，本公司方法具體實現并不受上述方式的限制。只要是采用了本公司方法的方法構思和技術方案進行的各種非實質性的改進；或未經改進，將本公司方法的上述構思和技術方案直接應用于其它場合的，均在本公司方法的保護范圍之內。業界首臺基于相位偏折光學的高精度面形檢測檢測設備，PV精度100nm。

    在準直鏡和光束位移模塊之間依次放置a分光鏡和b分光鏡，在b分光鏡的反射光束光軸上放置四象限探測器，在a分光鏡的反射光束光軸上依次配置有收集透鏡、收集透鏡焦點處的眼兒以及光電探測器，光電探測器的安裝位置須保證其能夠收集透過眼兒的全部光強，以構成共焦探測模塊；法向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca采集四象限探測器的信號，并根據四象限探測器上的光斑位置對x電機和y電機進行反饋控制，確保光束始終處于四象限探測器的中心；軸向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca讀取共焦模塊中的光電探測器的輸出信號，通過軸向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca控制物鏡驅動器軸向掃描以獲得共焦軸向強度曲線，并通過信號處理提取共焦軸向強度曲線的峰值，進而獲得測量點m的軸向位置。掃描60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca控制二維精密位移臺進行二維掃描運動，并讀取軸向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca處理得到的軸向位置，通過掃描坐標與軸向位置數據重建出自由曲面樣品的三維輪廓。有益效果(1)利用共焦探測技術，通過光束離軸控制實現法向跟蹤，使得測量光束始終垂直匯聚于被測自由曲面樣品表面，并使得反射光束與測量光束共光路，利于在大角度范圍內保持共焦探測技術的高靈敏定焦能力。。我公司基于相位偏折光學的在線高精度玻璃檢測，解決工廠玻璃檢具精度不夠的市場問題。上海在線玻璃面型檢測質量好價格憂的廠家

汽車玻璃面形檢測檢測速度4s，非接觸柔性在線高速檢測。深圳汽車玻璃面型檢測公司

    設亮度函數在這個四鄰域內的亮度函數是線性變化的，雙線性插值法分別計算這四個相鄰點到插值點p(x，y)的水平距離和垂直距離，并用距離作為它們灰度值的權重進行插值計算，便可得到插值點p(x，y)的灰度值。設像素點的灰度值用函數g表示，首先在x方向上進行插值計算，計算公式如下：然后對y方向進行線性插值計算，可得到插值點p(x，y)像素的灰度值，化簡得，通過雙線性插值法得到的插值點的灰度值g(x，y)通常為浮點數，對其進行四舍五入取整，再將所有的插值點進行連接，便可得到亞像素閾值分割后的邊緣輪廓。本方法利用canny算子對圖像進行邊緣粗提取，再利用雙線性插值方法進行亞像素定位，得到汽車玻璃的亞像素輪廓信息，用于后續的圖像配準尺寸檢測工作，提高檢測精度。本實施例中，在步驟5)中，在圖像匹配完成后，就可以計算兩個玻璃輪廓之間的誤差，玻璃輪廓是玻璃邊緣上所有點的點集。假設待檢測玻璃上有一點p，它到模板玻璃輪廓上的**短距離就是該點的誤差，如圖7所示，d2為所求誤差，若d2<0，則表示待檢玻璃比模板玻璃要小；若d2>0，則表示待檢玻璃比模板玻璃要大；在誤差d2在預設閾值時，則表明待檢玻璃合格，否則則表明待檢玻璃偏大或者偏小。深圳汽車玻璃面型檢測公司

    領先光學技術（江蘇）有限公司成立于2019年，公司總部地址位于武進區天安數碼城內獨棟12-2#寫字樓。我們的種子企業“ling先光學技術（常熟）有限公司”成立于2014年，是國家高新技術企業、科技型中小型企業、江蘇省民營科技企業、雛鷹企業。知識產權80余項（發明專利8項）。內核團隊：教授2名、博士2名、行業渠道關鍵人4人。長期穩定與復旦大學、大連理工大學合作。底層技術包括：光學（相位偏折、白光干涉、白光共焦、深度學習）；MicroLED（發光器件、透明顯示、微型投影）。是做一件“利用光學進行工業質量檢測設備的生產和制造”。自主開發光學系統和底層內核算法，擁有十年以上行業經驗，主要應用于：汽車玻璃檢測行業、片材檢測行業、半導體材料檢測行業，我們的戰略新產品：微米級光刻機已經完成版流片，也正在一步步趨于穩定和成熟。公司在科技的浪潮中，已經具有將內核技術轉化為產品的經驗與能力。公司是高科技、高成長性企業，公司不斷的夯實自身技術基礎，愿成為中國工業發展中奠基石的一份子，打破國外的智能裝備的，樹名族自有高技術品牌。