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國內微光顯微鏡用戶體驗

來源: 發布時間:2025-07-14

例如,當某批芯片在測試中發現漏電失效時,我們的微光顯微鏡能定位到具體的失效位置,為后續通過聚焦離子束(FIB)切割進行截面分析、追溯至柵氧層缺陷及氧化工藝異常等環節提供關鍵前提。可以說,我們的設備是半導體行業失效分析中定位失效點的工具,其的探測能力和高效的分析效率,為后續問題的解決奠定了不可或缺的基礎。

在芯片研發階段,它能幫助研發人員快速鎖定設計或工藝中的隱患,避免資源的無效投入;在量產過程中,它能及時發現批量性失效的源頭,為生產線調整爭取寶貴時間,降低損失;在產品應用端,它能為可靠性問題的排查提供方向,助力企業提升產品質量和市場口碑。無論是先進制程的芯片研發,還是成熟工藝的量產檢測,我們的設備都以其獨特的技術優勢,成為失效分析流程中無法替代的關鍵一環,為半導體企業的高效運轉和技術升級提供有力支撐。 晶體管和二極管短路或漏電時,微光顯微鏡依其光子信號判斷故障類型與位置,利于排查電路故障。國內微光顯微鏡用戶體驗

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對半導體研發工程師而言,排查的過程層層受阻。在逐一排除外圍電路異常、生產工藝制程損傷等潛在因素后,若仍未找到癥結,往往需要芯片原廠介入,通過剖片分析深入探究內核。

然而,受限于專業分析設備的缺乏,再加上芯片內部設計涉及機密,工程師難以深入了解其底層構造,這就導致他們在面對原廠出具的分析報告時,常常陷入 “被動接受” 的局面 —— 既無法完全驗證報告的細節,也難以基于自身判斷提出更具針對性的疑問或補充分析方向。 紅外光譜微光顯微鏡對比我司微光顯微鏡探測芯片封裝打線及內部線路短路產生的光子,快速定位短路位置,優勢獨特。



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微光顯微鏡技術特性差異

探測靈敏度方向:EMMI 追求對微弱光子的高靈敏度(可檢測單光子級別信號),需配合暗場環境減少干擾;熱紅外顯微鏡則強調溫度分辨率(部分設備可達 0.01℃),需抑制環境熱噪聲。

空間分辨率:EMMI 的分辨率受光學系統和光子波長限制,通常在微米級;熱紅外顯微鏡的分辨率與紅外波長、鏡頭數值孔徑相關,一般略低于 EMMI,但更注重大面積熱分布的快速成像。

樣品處理要求:EMMI 對部分遮蔽性失效(如金屬下方漏電)需采用背面觀測模式,可能需要減薄、拋光樣品;

處理要求:熱紅外顯微鏡可透過封裝材料(如陶瓷、塑料)探測,對樣品破壞性較小,更適合非侵入式初步篩查。

需要失效分析檢測樣品,我們一般會在提前做好前期的失效背景調查和電性能驗證工作,能夠為整個失效分析過程找準方向、提供依據,從而更高效、準確地找出芯片失效的原因。

1.失效背景調查收集芯片型號、應用場景、失效模式(如短路、漏電、功能異常等)、失效比例、使用環境(溫度、濕度、電壓)等。確認失效是否可復現,區分設計缺陷、制程問題或應用不當(如過壓、ESD)。

2.電性能驗證使用自動測試設備(ATE)或探針臺(ProbeStation)復現失效,記錄關鍵參數(如I-V曲線、漏電流、閾值電壓偏移)。對比良品與失效芯片的電特性差異,縮小失效區域(如特定功能模塊)。 我司團隊改進算法等技術,整合出 EMMI 芯片漏電定位系統,價低且數據整理準、操作便,性價比高,居行業先頭。

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為了讓客戶對設備品質有更直觀的了解,我們大力支持現場驗貨。您可以親臨我們的實驗室,近距離觀察設備的外觀細節,親身操作查驗設備的運行性能、精度等關鍵指標。每一臺設備都經過嚴格的出廠檢測,我們敢于將品質擺在您眼前,讓您在采購前就能對設備的實際狀況了然于胸,消除后顧之憂。一位來自汽車零部件廠商的客戶分享道:“之前采購設備總擔心實際性能和描述有差距,在致晟光電現場驗貨時,工作人員耐心陪同我們測試,設備的精度和穩定性都超出預期,這下采購心里踏實多了。”其搭載的圖像增強算法,能強化微弱光子信號,減少噪聲干擾,使故障點成像更鮮明,便于識別。IC微光顯微鏡備件

微光顯微鏡的快速預熱功能,可縮短設備啟動至正常工作的時間,提高檢測效率。國內微光顯微鏡用戶體驗

在半導體芯片的精密檢測領域,微光顯微鏡與熱紅外顯微鏡如同兩把功能各異的 “利劍”,各自憑借獨特的技術原理與應用優勢,在芯片質量管控與失效分析中發揮著不可替代的作用。二者雖同服務于芯片檢測,但在邏輯與適用場景上的差異,使其成為互補而非替代的檢測組合。從技術原理來看,兩者的 “探測語言” 截然不同。

微光顯微鏡是 “光子的捕捉者”,其重心在于高靈敏度的光子傳感器,能夠捕捉芯片內部因電性能異常釋放的微弱光信號 —— 這些信號可能來自 PN 結漏電時的電子躍遷,或是柵氧擊穿瞬間的能量釋放,波長多集中在可見光至近紅外范圍。


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