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非制冷熱紅外顯微鏡功能

來源: 發布時間:2025-07-15

熱紅外顯微鏡和紅外顯微鏡并非同一事物,二者是包含與被包含的關系。紅外顯微鏡是個廣義概念,涵蓋利用0.75-1000微米紅外光進行分析的設備,依波長分近、中、遠紅外等,通過樣品對紅外光的吸收、反射等特性分析化學成分,比如識別材料中的官能團,應用于材料科學、生物學等領域。而熱紅外顯微鏡是其分支,專注7-14微米的熱紅外波段,無需外部光源,直接探測樣品自身的熱輻射,依據黑體輻射定律生成溫度分布圖像,主要用于研究溫度分布與熱特性,像定位電子芯片的熱點、分析復合材料熱傳導均勻性等。前者側重成分分析,后者聚焦熱特性研究。半導體芯片內部缺陷定位是工藝優化與失效分析的關鍵技術基礎。非制冷熱紅外顯微鏡功能

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熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)技術,作為半導體失效分析領域的關鍵手段,通過捕捉器件內部產生的熱輻射,實現失效點的精細定位。它憑借對微觀熱信號的高靈敏度探測,成為解析半導體故障的 “火眼金睛”。然而,隨著半導體技術不斷升級,器件正朝著超精細圖案制程與低供電電壓方向快速演進:線寬進入納米級,供電電壓降至 1V 以下。這使得失效點(如微小短路、漏電流區域)產生的熱量急劇減少,其輻射的紅外線信號強度降至傳統檢測閾值邊緣,疊加芯片復雜結構的背景輻射干擾,信號提取難度呈指數級上升。
IC熱紅外顯微鏡選購指南熱紅外顯微鏡可實時監測電子設備運行中的熱變化,預防過熱故障 。

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在失效分析的有損分析中,打開封裝是常見操作,通常有三種方法。全剝離法會將集成電路完全損壞,留下完整的芯片內部電路。但這種方法會破壞內部電路和引線,導致無法進行電動態分析,適用于需觀察內部電路靜態結構的場景。局部去除法通過特定手段去除部分封裝,優點是開封過程不會損壞內部電路和引線,開封后仍可進行電動態分析,能為失效分析提供更豐富的動態數據。自動法則是利用硫酸噴射實現局部去除,自動化操作可提高效率和精度,不過同樣屬于破壞性處理,會對樣品造成一定程度的損傷。


半導體制程已逐步進入 3 納米及更先進階段,芯片內部結構日趨密集,供電電壓也持續降低,這使得微觀熱行為對器件性能的影響變得更為明顯。致晟光電熱紅外顯微鏡是在傳統熱發射顯微鏡基礎上,經迭代進化而成的精密工具。在先進制程研發中,它在應對熱難題方面能提供一定支持,在芯片設計驗證、失效排查以及性能優化等環節,都能發揮相應的作用。其通過不斷優化的技術,適應了先進制程下對微觀熱信號檢測的需求,為相關研發工作提供了有助于分析和解決問題的熱分布信息,助力研發人員更好地推進芯片相關的研究與改進工作。
熱紅外顯微鏡對集成電路進行熱檢測,排查內部隱藏故障 。

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熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI )技術不僅可實現電子設備的故障精細定位,更在性能評估、熱管理優化及可靠性分析等領域展現獨特價值。通過高分辨率熱成像捕捉設備熱點分布圖譜,工程師能深度解析器件熱傳導特性,以此為依據優化散熱結構設計,有效提升設備運行穩定性與使用壽命。此外,該技術可實時監測線路功耗分布與異常發熱區域,建立動態熱特征數據庫,為線路故障的早期預警與預防性維護提供數據支撐,從根本上去降低潛在失效風險。熱紅外顯微鏡可捕捉物體熱輻射,助力電子元件熱分布與散熱性分析。非制冷熱紅外顯微鏡功能

熱紅外顯微鏡在 SiC/GaN 功率器件檢測中,量化評估襯底界面熱阻分布。非制冷熱紅外顯微鏡功能

熱紅外顯微鏡與光學顯微鏡雖同屬微觀觀測工具,但在原理、功能與應用場景上存在明顯差異,尤其在失效分析等專業領域各有側重。

工作原理看,光學顯微鏡利用可見光(400-760nm 波長)的反射或透射成像,通過放大樣品的物理形態(如結構、顏色、紋理)呈現細節,其主要是捕捉 “可見形態特征”;而熱紅外顯微鏡則聚焦 3-10μm 波長的紅外熱輻射,通過檢測樣品自身發射的熱量差異生成熱分布圖,本質是捕捉 “不可見的熱信號”。

主要功能上,光學顯微鏡擅長觀察樣品的表面形貌、結構缺陷(如裂紋、變形),適合材料微觀結構分析、生物樣本觀察等;熱紅外顯微鏡則專注于微觀熱行為解析,能識別因電路缺陷、材料熱導差異等產生的溫度異常,即使是納米級的微小熱點(如半導體芯片的漏電區域)也能精確捕捉,這是光學顯微鏡無法實現的。

適用場景來看,光學顯微鏡是通用型觀測工具,廣泛應用于基礎科研、教學等領域;而熱紅外顯微鏡更偏向專業細分場景,尤其在半導體失效分析中,可定位短路、虛焊等隱性缺陷引發的熱異常,在新材料研發中能分析不同組分的熱傳導特性,為解決 “熱相關問題” 提供關鍵依據。 非制冷熱紅外顯微鏡功能

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