熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 圖像分析是通過探測物體自身發出的紅外輻射，將其轉化為可視化圖像，進而分析物體表面溫度分布等信息的技術。其原理是溫度高于零度的物體都會向外發射紅外光，熱紅外顯微鏡通過吸收這些紅外光，利用光電轉換將其變為溫度圖像。物體內電荷擾動會產生遠場輻射和近場輻射，近場輻射以倏逝波形式存在，強度隨遠離物體表面急劇衰退，通過掃描探針技術可散射近場倏逝波，從而獲取物體近場信息，實現超分辨紅外成像。熱紅外顯微鏡能透過硅片或封裝材料，對半導體芯片內部熱缺陷進行非接觸式檢測。低溫熱熱紅外顯微鏡對比

非制冷熱紅外顯微鏡基于微測輻射熱計，無需低溫制冷裝置，具有功耗低、維護成本低等特點，適合長時間動態監測。其通過鎖相熱成像等技術優化后，雖靈敏度（通常 0.01-0.1℃）和分辨率（普遍 5-20μm）略遜于制冷型，但性價比更高，。與制冷型對比，非制冷型無需制冷耗材，適合 PCB、PCBA 等常規電子元件失效分析；而制冷型（如 RTTLIT P20）靈敏度達 0.1mK、分辨率低至 2μm，價格高，多用于半導體晶圓等檢測。非制冷熱紅外顯微鏡在中低端工業檢測領域應用較多。IC熱紅外顯微鏡聯系人半導體芯片內部缺陷定位是工藝優化與失效分析的關鍵技術基礎。

RTTLITP20 熱紅外顯微鏡憑借多元光學物鏡配置，構建從宏觀到納米級的全尺度熱分析能力，靈活適配多樣檢測需求。Micro廣角鏡頭可快速覆蓋大尺寸樣品整體熱分布，如整塊電路板、大型模組的散熱趨勢，高效完成初步篩查；0.13~0.3x變焦鏡頭通過連續倍率調節，適配芯片封裝體、傳感器陣列等中等尺度器件熱分析，兼顧整體熱場與局部細節；0.65X～0.75X變焦鏡頭提升分辨率，解析芯片內部功能單元熱交互，助力定位封裝散熱瓶頸；3x～4x變焦鏡頭深入微米級結構，呈現晶體管陣列、引線鍵合點等細微部位熱分布；8X～13X變焦鏡頭聚焦納米尺度，捕捉微小短路點、漏電流區域等納米級熱點的微弱熱信號，滿足先進制程半導體高精度分析需求。

多段變焦與固定倍率結合的設計，實現宏觀到微觀熱分析平滑切換，無需頻繁更換配件，大幅提升半導體失效分析、新材料熱特性研究等領域的檢測效率與精細度。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI ）技術不僅可實現電子設備的故障精細定位，更在性能評估、熱管理優化及可靠性分析等領域展現獨特價值。通過高分辨率熱成像捕捉設備熱點分布圖譜，工程師能深度解析器件熱傳導特性，以此為依據優化散熱結構設計，有效提升設備運行穩定性與使用壽命。此外，該技術可實時監測線路功耗分布與異常發熱區域，建立動態熱特征數據庫，為線路故障的早期預警與預防性維護提供數據支撐，從根本上去降低潛在失效風險。熱紅外顯微鏡借助圖像分析技術，直觀展示電子設備熱分布狀況 。

非破壞性分析（NDA）以非侵入方式分析樣品內部結構和性能，無需切割、拆解或化學處理，能保留樣品完整性，為后續研究留有余地，在高精度、高成本的半導體領域作用突出。

無損分析，通過捕捉樣品自身紅外熱輻射成像，全程無接觸，無需對晶圓、芯片等進行破壞性處理。在半導體制造中，可識別晶圓晶體缺陷；封裝階段，能檢測焊接點完整性或封裝層粘結質量；失效分析時，可定位內部短路或斷裂區域的隱性熱信號，為根源分析提供依據，完美適配半導體行業對高價值樣品的保護需求。 評估 PCB 走線布局、過孔設計對熱分布的影響，指導散熱片、導熱膠的選型與 placement。紅外光譜熱紅外顯微鏡方案

熱紅外顯微鏡通過熱輻射相位差算法，三維定位 3D 封裝中 Z 軸方向的失效層。低溫熱熱紅外顯微鏡對比

致晟光電在推動產學研一體化進程中，積極開展校企合作。公司依托南京理工大學光電技術學院，專注開發基于微弱光電信號分析的產品及應用。雙方聯合攻克技術難題，不斷優化實時瞬態鎖相紅外熱分析系統（RTTLIT），使該系統溫度靈敏度可達0.0001℃，功率檢測限低至1uW，部分功能及參數優于進口設備。此外，致晟光電還與其他高校建立合作關系，搭建起學業-就業貫通式人才孵化平臺。為學生提供涵蓋研發設計、生產實踐、項目管理全鏈條的育人平臺，輸送了大量實踐能力強的專業人才，為企業持續創新注入活力。通過建立科研成果產業孵化綠色通道，高校的前沿科研成果得以快速轉化為實際生產力，實現了高校科研資源與企業市場轉化能力的優勢互補。

低溫熱熱紅外顯微鏡對比