熱紅外顯微鏡能高效檢測微尺度半導體電路及MEMS器件的熱問題。在電路檢測方面，這套熱成像顯微鏡可用于電路板失效分析，且配備了電路板檢測用軟件包“模型比較”，能識別缺陷元件；同時還可搭載“缺陷尋找”軟件模塊，專門探測不易發現的短路問題并定位短路點。在MEMS研發領域，空間溫度分布與熱響應時間是微反應器、微型熱交換器、微驅動器、微傳感器等MEMS器件的關鍵參數。目前，非接觸式測量MEMS器件溫度的方法仍存在局限，而紅外成像顯微鏡可提供20微米空間分辨率的熱分布圖像，是迄今為止測量MEMS器件熱分布的高效工具。
熱紅外顯微鏡在 SiC/GaN 功率器件檢測中，量化評估襯底界面熱阻分布。低溫熱熱紅外顯微鏡用戶體驗

致晟光電自主研發的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列，是電子工業中不可或缺的精密檢測工具，在半導體芯片、先進封裝技術、功率電子器件以及印刷電路板（PCB）等領域的失效分析中發揮著舉足輕重的作用。

該設備搭載——實時瞬態鎖相紅外熱分析（RTTLIT）系統，并集成高靈敏度紅外相機、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術組件，賦予其三大特性：超凡靈敏度與亞微米級檢測精度，可捕捉微弱熱信號與光子發射；高精度溫度測量能力（鎖相靈敏度達0.001℃），支持動態功耗分析；無損故障定位特性，無需破壞器件即可鎖定短路、開路等缺陷。憑借技術集成優勢，ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點，更能通過失效分析優化產品質量與可靠性，為半導體制造、先進封裝及電子器件研發提供關鍵技術支撐。 紅外光譜熱紅外顯微鏡方案設計定位芯片內部微短路、漏電、焊點虛接等導致的熱異常點。

非破壞性分析（NDA）以非侵入方式分析樣品內部結構和性能，無需切割、拆解或化學處理，能保留樣品完整性，為后續研究留有余地，在高精度、高成本的半導體領域作用突出。

無損分析，通過捕捉樣品自身紅外熱輻射成像，全程無接觸，無需對晶圓、芯片等進行破壞性處理。在半導體制造中，可識別晶圓晶體缺陷；封裝階段，能檢測焊接點完整性或封裝層粘結質量；失效分析時，可定位內部短路或斷裂區域的隱性熱信號，為根源分析提供依據，完美適配半導體行業對高價值樣品的保護需求。

在選擇 EMMI 微光顯微鏡時，需綜合考量應用需求、預算、技術參數及售后服務等因素。首先明確具體應用場景，例如 LED 檢測可能需要特定波長范圍，而集成電路分析則對分辨率要求更高。預算方面，進口設備系列價格昂貴，但成立年限長、有品牌加持。而選擇國產設備——如致晟光電自主全國產研發的RTTLIT 實時瞬態鎖相熱分析系統在性價比方面更好，且在靈敏度和各種參數功能上已接近進口水平，尤其在垂直芯片等場景中表現穩定，適合預算有限的常規檢測。
國產熱紅外顯微鏡憑借自主研發軟件，具備時域重構等功能，提升檢測效率。

致晟光電——熱紅外顯微鏡在信號調制技術上的優化升級，以多頻率調制為突破點，構建了更精細的微觀熱信號解析體系。其通過精密算法控制電信號的頻率切換與幅度調節，使不同深度、不同材質的樣品區域產生差異化熱響應 —— 高頻信號可捕捉表層微米級熱點，低頻信號則能穿透材料識別內部隱性感熱缺陷，形成多維度熱特征圖譜。

這種動態調制方式，不僅將特征分辨率提升至納米級，更通過頻率匹配過濾環境噪聲與背景干擾，使檢測靈敏度較傳統單頻調制提高 3-5 倍，即使是 0.1mK 的微小溫度波動也能被捕捉。 熱紅外顯微鏡助力科研人員研究新型材料的熱穩定性與熱性能 。廠家熱紅外顯微鏡內容

熱紅外顯微鏡對電子元件進行無損熱檢測，保障元件完整性 。低溫熱熱紅外顯微鏡用戶體驗

非制冷熱紅外顯微鏡基于微測輻射熱計，無需低溫制冷裝置，具有功耗低、維護成本低等特點，適合長時間動態監測。其通過鎖相熱成像等技術優化后，雖靈敏度（通常 0.01-0.1℃）和分辨率（普遍 5-20μm）略遜于制冷型，但性價比更高，。與制冷型對比，非制冷型無需制冷耗材，適合 PCB、PCBA 等常規電子元件失效分析；而制冷型（如 RTTLIT P20）靈敏度達 0.1mK、分辨率低至 2μm，價格高，多用于半導體晶圓等檢測。非制冷熱紅外顯微鏡在中低端工業檢測領域應用較多。低溫熱熱紅外顯微鏡用戶體驗