致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb（銦銻）探測器，用于中波紅外波段（3–5 μm）的熱輻射信號捕捉。InSb材料具有優異的光電轉換效率和極低的本征噪聲，在制冷條件下可實現高達nW級的熱靈敏度和優于20mK的溫度分辨率，適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測器在熱紅外顯微系統中的應用，提升了空間分辨率（可達微米量級）與溫度響應線性度，使其能夠對半導體器件、微電子系統中的局部發熱缺陷、熱點遷移和瞬態熱行為進行精細刻畫。配合致晟光電自主開發的高數值孔徑光學系統與穩態熱控平臺，InSb探測器可在多物理場耦合背景下實現高時空分辨的熱場成像，是先進電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評價中的關鍵。
熱紅外顯微鏡能透過硅片或封裝材料，對半導體芯片內部熱缺陷進行非接觸式檢測。工業檢測熱紅外顯微鏡分析

熱紅外顯微鏡在半導體IC裸芯片熱檢測中發揮著關鍵作用。對于半導體IC裸芯片而言，其內部結構精密且集成度高，微小的熱異常都可能影響芯片性能甚至導致失效，因此熱檢測至關重要。熱紅外顯微鏡能夠非接觸式地對裸芯片進行熱分布成像與分析，清晰捕捉芯片工作時的溫度變化情況。它可以定位芯片上的熱點區域，這些熱點往往是由電路設計缺陷、局部電流過大或器件老化等問題引起的。通過對熱點的檢測和分析，工程師能及時發現芯片潛在的故障風險，為優化芯片設計、改進制造工藝提供重要依據。同時，該顯微鏡還能測量裸芯片內部關鍵半導體結點的溫度，也就是結溫。結溫是評估芯片性能和可靠性的重要參數，過高的結溫會縮短芯片壽命，影響其穩定性。熱紅外顯微鏡憑借高空間分辨率的熱成像能力，可實現對結溫的測量，幫助研發人員更好地掌握芯片的熱特性，從而制定合理的散熱方案，提升芯片的整體性能與可靠性。半導體熱紅外顯微鏡售價在高低溫循環（-40℃~125℃）中監測車載功率模塊、傳感器的熱疲勞退化。

在電子領域，所有器件都會在不同程度上產生熱量。器件散發一定熱量屬于正常現象，但某些類型的缺陷會增加功耗，進而導致發熱量上升。

在失效分析中，這種額外的熱量能夠為定位缺陷本身提供有用線索。熱紅外顯微鏡可以借助內置攝像系統來測量可見光或近紅外光的實用技術。該相機對波長在3至10微米范圍內的光子十分敏感，而這些波長與熱量相對應，因此相機獲取的圖像可轉化為被測器件的熱分布圖。通常，會先對斷電狀態下的樣品器件進行熱成像，以此建立基準線；隨后通電再次成像。得到的圖像直觀呈現了器件的功耗情況，可用于隔離失效問題。許多不同的缺陷在通電時會因消耗額外電流而產生過多熱量。例如短路、性能不良的晶體管、損壞的靜電放電保護二極管等，通過熱紅外顯微鏡觀察時會顯現出來，從而使我們能夠精細定位存在缺陷的損壞部位。

除了熱輻射，電子設備在出現故障或異常時，還可能伴隨微弱的光發射增強。熱紅外顯微鏡搭載高靈敏度的光學探測器，如光電倍增管（PMT）或電荷耦合器件（CCD），能夠有效捕捉這些低強度的光信號。這類光發射通常源自電子在半導體材料中發生的能級躍遷、載流子復合或其他物理過程。通過對光發射信號的成像和分析，熱紅外顯微鏡不僅能夠進一步驗證熱點區域的存在，還可輔助判斷異常的具體機制，為故障定位和性能評估提供更精確的信息。熱紅外顯微技術可透過硅片或封裝材料，實現非接觸式熱斑定位。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 也是科研與教學領域的利器，其設備能捕捉微觀世界的熱信號。它將紅外探測與顯微技術結合，呈現物體表面溫度分布，分辨率達微米級，可觀察半導體芯片熱點、電子器件熱分布等。非接觸式測量是其一大優勢，無需與被測物體直接接觸，避免了對樣品的干擾，適用于多種類型的樣品檢測。實時成像功能可追蹤動態熱變化，如材料相變、化學反應熱釋放。在高校，熱紅外顯微鏡助力多學科實驗；在企業，為產品研發和質量檢測提供支持，推動各領域創新突破。 熱紅外顯微鏡可捕捉物體熱輻射，助力電子元件熱分布與散熱性分析。科研用熱紅外顯微鏡

熱紅外顯微鏡通過分析熱輻射分布，評估芯片散熱設計的合理性 。工業檢測熱紅外顯微鏡分析

在選擇 EMMI 微光顯微鏡時，需綜合考量應用需求、預算、技術參數及售后服務等因素。首先明確具體應用場景，例如 LED 檢測可能需要特定波長范圍，而集成電路分析則對分辨率要求更高。預算方面，進口設備系列價格昂貴，但成立年限長、有品牌加持。而選擇國產設備——如致晟光電自主全國產研發的RTTLIT 實時瞬態鎖相熱分析系統在性價比方面更好，且在靈敏度和各種參數功能上已接近進口水平，尤其在垂直芯片等場景中表現穩定，適合預算有限的常規檢測。
工業檢測熱紅外顯微鏡分析